| 热式质量流量计 |
测量气体流过加热元件时带走的热量来推算质量流量。 |
直接测质量流量，无需温压补偿；对微小流量敏感，无活动部件，可靠性高。 |
测量精度受气体成分影响大，不适用于成分多变或脏污的气体。 |
气相色谱仪载气、半导体工艺气体、燃料电池测试、实验室配气。 |
| 层流压差式流量计 |
利用气体在层流元件中产生的压差与流量成正比的原理，通过测量压差计算流量。 |
结构简单可靠，响应快，线性度好；压力损失极小。 |
对气体洁净度要求高，需要温压补偿。 |
洁净气体的低流速测量，如呼吸机、分析仪器、发动机进气测量。 |
| 皂膜流量计 |
通过光电传感器检测皂膜在玻璃管内通过固定距离所需的时间来计算流量。 |
精度极高，可作为实验室校准标准器（如校准其他流量计）。 |
为间歇式测量，不适用于实时连续监测；对气体洁净度有要求。 |
气体流量计的标定与校准、大气采样器、气相色谱仪等仪表的流量校验。 |
| 容积式流量计 |
将气体分割成已知体积的“小单元”并计数，从而计算总流量，常见的有湿式、膜式等。 |
测量精度高，不受气体密度、粘度等物性影响。 |
结构相对复杂，有活动部件，可能对系统造成污染或磨损。 |
高精度体积流量测量，常用于标准计量。 |
| 科里奥利质量流量计 |
通过测量流体流经振动管时产生的科里奥利力来直接测量质量流量。 |
精度最高，直接测质量流量，不受流体物性影响；可同时测密度和温度。 |
价格昂贵；对安装要求较高。 |
对精度和可靠性要求极高的科研场景，如高端分析仪器。 |
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